[实用新型]一种真空镀膜的过滤装置有效

专利信息
申请号: 201921444310.7 申请日: 2019-09-02
公开(公告)号: CN210529035U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 袁小夫;舒本剑 申请(专利权)人: 安徽安合鑫光电科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;B01D46/30;B01D46/00
代理公司: 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 代理人: 曹恒涛
地址: 239000 安徽省滁州市苏滁现代产业*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 为了解决真空镀膜的过程中真空镀膜的过滤装置内过滤棉使用寿命缩短的问题,本实用新型提出一种真空镀膜的过滤装置,通过接一个弯管将进气阀的进气部分转换到净化室内,同时在进气孔的位置包一层无尘布,可以有效的将过滤装置内的过滤棉的使用周期延长至18个月左右,一种真空镀膜的过滤装置,其包括:过滤器3和进气管道2,所述进气管道2的一端连接在镀膜机1上,另一端连接在过滤器3上;所述过滤器3通过进气管道2连接于车间内部,其特征在于:镀膜机1包括6个面,镀膜机正面11、镀膜机背面13镀膜机顶面14、镀膜机底面15、第一镀膜机侧面12和第二镀膜机侧面16,只有镀膜机正面11位于车间内部,其余都位于车间外部。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 过滤 装置
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