[实用新型]新型气缸有效
| 申请号： | 201921207919.2 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN210637312U | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 孟杰;曾圣翔;薛波;郭松辉;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/14 | 分类号： | F15B15/14;F15B19/00;F15B20/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种新型气缸，包括：缸筒；第一活塞，设置在所述缸筒内，能够相对于所述缸筒做往复运动，且所述第一活塞内部设置有凹槽，所述凹槽的长度方向与所述第一活塞的运动方向相同；第二活塞，设置于所述第一活塞的凹槽内部，能够相对于所述第一活塞做往复运动；震动检测器，安装至所述缸筒，用于检测所述第一活塞或第二活塞的异常震动。以上新型气缸具有震动检测器，能够通过检测所述第一活塞和第二活塞的震动情况，来实时监测整个新型气缸的异常震动情况，防止因气缸问题发生停机，产生晶圆报废风险，侧面提高晶圆产率。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 气缸 | ||
【主权项】：
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