[实用新型]一种简易的抽真空装置有效
| 申请号： | 201921102861.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN209963029U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘朝辉 | 申请（专利权）人： | 浙江光特科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 33274 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 韩云涵 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种简易的抽真空装置，包括真空碗、真空管和真空泵，所述真空碗的上端面设有圆孔，所述真空碗的上方设有快接口母头，所述快接口母头的内部设有内螺纹，所述内螺纹从快接口母头的底部起始至快接口母头的中间位置，所述真空碗的上端面的下方设有快接口公头，所述快接口公头的上部设有第一缩小环，所述第一缩小环的外径小于快接口公头的外径，所述第一缩小环上设有外螺纹，所述第一缩小环的下方与快接口公头的交界处设有第一阶梯面，述快接口公头穿过圆孔拧入快接口母头内，所述快接口公头的下方设有滤布套，所述滤布套的上方设有第二缩小环。本实用新型结构简单，易安装，成本较低，效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 快接口 公头 真空碗 母头 本实用新型 滤布套 内螺纹 圆孔 真空管 抽真空装置 接口母头 交界处 阶梯面 上端面 外螺纹 易安装 真空泵 上端 拧入 穿过 简易 | ||
【主权项】：
1.一种简易的抽真空装置，包括真空碗(1)、真空管(3)和真空泵(4)，其特征在于：所述真空碗(1)的上端面设有圆孔(12)，所述真空碗(1)的上方设有快接口母头(6)，所述快接口母头(6)的内部设有内螺纹(61)，所述内螺纹(61)从快接口母头(6)的底部起始至快接口母头(6)的中间位置，所述真空碗(1)的上端面的下方设有快接口公头(7)，所述快接口公头(7)的上部设有第一缩小环(72)，所述第一缩小环(72)的外径小于快接口公头(7)的外径，所述第一缩小环(72)上设有外螺纹(73)，所述第一缩小环(72)的下方与快接口公头(7)的交界处设有第一阶梯面(71)，所述快接口公头(7)穿过圆孔(12)拧入快接口母头(6)内，所述快接口公头(7)的下方设有滤布套(8)，所述滤布套(8)的上方设有第二缩小环(82)，所述第二缩小环(82)的外径小于滤布套(8)的外径，所述第二缩小环(82)的下方与滤布套(8)的交界处设有第二阶梯面(81)，所述第二缩小环(82)伸入快接口公头(7)内部，所述快接口公头(7)的下端面与第二阶梯面(81)相贴合，所述快接口母头(6)的上方内部套入有橡胶接口(5)，所述橡胶接口(5)与快接口母头(6)过盈配合，所述橡胶接口(5)的下端面位于内螺纹(61)的上方，所述橡胶接口(5)的上端面设有周向向外延伸的定位台(51)，所述定位台(51)的底部与快接口母头(6)的上端面相贴合，所述橡胶接口(5)内插入有真空管(3)，所述真空管(3)远离橡胶接口(5)的一侧连接有真空泵(4)，所述真空碗(1)的底部设有向外延伸的碗沿(11)，所述碗沿(11)上套有密封圈(2)。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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