[实用新型]一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈有效
| 申请号： | 201921069676.0 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN209929073U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 郭颂;刘小波;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01J37/30;H01J37/02 |
| 代理公司： | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈，包括第一环形线圈和第二环形线圈，第一环形线圈和第二环形线圈以交叉排列的形式，形成三角形截面；三角形截面的三个顶点分别为环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三，且环形线圈截面一位于环形线圈截面二和环形线圈截面三连线上方的中间位置；环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三相向的一侧的两个拐角处各设置一个倒角倾斜面；两个倒角倾斜面关于垂直轴线对称；环形线圈中相对的倒角倾斜面相互平行。本申请在避免尖端放电的同时，环形线圈之间的距离减小，占用空间小，正对面积大，同时，还使得整个等离子体耦合线圈的电感大。 | ||
| 搜索关键词： | 环形线圈 倒角倾斜面 等离子体耦合 等离子刻蚀机 本实用新型 三角形截面 垂直轴线 尖端放电 交叉排列 距离减小 占用空间 电感 拐角处 连线 相向 正对 对称 平行 申请 | ||
【主权项】：
1.一种等离子刻蚀机用等离子体耦合线圈，包括第一环形线圈和第二环形线圈，第一环形线圈和第二环形线圈以交叉排列的形式，形成三角形截面；三角形截面的三个顶点分别为环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三，且环形线圈截面一位于环形线圈截面二和环形线圈截面三连线上方的中间位置；其特征在于：/n环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三均具有垂直轴线，环形线圈截面一、环形线圈截面二和环形线圈截面三相向的一侧的两个拐角处各设置一个倒角倾斜面；两个倒角倾斜面关于垂直轴线对称；两个倒角倾斜面分别为倒角倾斜面一和倒角倾斜面二；/n环形线圈截面一中的倒角倾斜面一与环形线圈截面二中正对的倒角倾斜面相平行；/n环形线圈截面一中的倒角倾斜面二与环形线圈截面三中正对的倒角倾斜面相平行。/n
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