[实用新型]一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置有效
| 申请号： | 201921000339.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN209894400U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 张青涛;饶杰奎;解孝辉 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈婷婷 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 电离规 高真空 冷阴极 性能检测装置 真空室 真空磁控溅射设备 真空泵系统 检测 真空室抽真空 本实用新型 罗茨真空泵 涡轮分子泵 旋片真空泵 直流电源 电压表 真空计 停机 生产 | ||
【主权项】：
1.一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。/n
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