[实用新型]一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置

权利要求书

1.一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。

2.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规与所述真空室之间设置有第一蝶阀。

3.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵串接在一起并依次远离所述真空室。

4.根据权利要求3所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述涡轮分子泵与罗茨真空泵之间、所述罗茨真空泵与旋片真空泵之间都设置有控制阀。

5.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述真空泵系统与所述真空室之间设置有第二蝶阀。

6.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述皮拉尼真空计与所述真空室之间设置有第三蝶阀。

7.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述真空室为所述真空磁控溅射设备的真空腔室。