[实用新型]蚀刻用上部电极有效

专利信息
申请号: 201920965716.3 申请日: 2019-06-25
公开(公告)号: CN209708939U 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 李东一;许赞;李宗泰;梁君;梁福坤 申请(专利权)人: 重庆臻宝实业有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 50216 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 龙玉洪<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 401326 重庆市九*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 实用新型公开了一种蚀刻用上部电极,包括母材,所述母材上具有均匀分布的安装孔,所述安装孔竖直设置,且贯穿母材的上下表面,所述安装孔内以螺纹配合方式安装有陶瓷管,所述陶瓷管具有沿轴向设置的气孔,所述气孔上下两端敞口,所述陶瓷管覆盖安装孔的内孔壁,且陶瓷管与安装孔的下端齐平。利用陶瓷管替代传统的氧化绝缘及熔射工艺,避免出现涂层分离,产生颗粒粉尘等问题,延长母材使用寿命,同时提高上部电极的拆装效率。
搜索关键词: 安装孔 陶瓷管 母材 上部电极 螺纹配合方式 上下两端敞口 蚀刻 本实用新型 拆装效率 颗粒粉尘 上下表面 使用寿命 竖直设置 轴向设置 传统的 内孔壁 绝缘 齐平 熔射 下端 贯穿 替代 覆盖
【主权项】:
1.一种蚀刻用上部电极,包括母材(1),其特征在于:所述母材(1)上具有均匀分布的安装孔(10),所述安装孔(10)竖直设置,且贯穿母材(1)的上下表面,所述安装孔(10)内以螺纹配合方式安装有陶瓷管(2),所述陶瓷管(2)具有沿轴向设置的气孔(20),所述气孔(20)上下两端敞口,所述陶瓷管(2)覆盖安装孔(10)的内孔壁,且陶瓷管(2)与安装孔(10)的下端齐平。/n
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