[实用新型]一种二极管晶圆划片机构有效
申请号: | 201920536498.1 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN209832245U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67 |
代理公司: | 37254 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘丽 |
地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种二极管晶圆划片机构,包括工作台,工作台顶端的四个边角处均固定安装有导轨支撑座,相对的两个导轨支撑座之间均固定连接有第一导向轨,两个第一导向轨的中部均滑动连接有导向块,两个导向块的顶端均固定安装有滑轨支撑座,两个滑轨支撑座之间固定连接有两个平行的第二导向轨,两个平行的第二导向轨之间滑动连接有电动滑块,电动滑块的底端固定安装有导向座,导向座底端的中部固定安装有伸缩调节柱,伸缩调节柱的底端固定安装有划片刀,本实用新型的有益效果是设有的第一导向轨和第二导向轨,方便调节划片刀的XY方向,便于更好的切割,设有的伸缩调节柱和紧固螺栓,便于调节划片刀到晶圆之间的距离。 | ||
搜索关键词: | 导向轨 伸缩调节 片刀 本实用新型 导轨支撑座 滑轨支撑座 电动滑块 滑动连接 导向块 导向座 底端 晶圆 平行 工作台顶端 二极管 方便调节 紧固螺栓 边角处 工作台 划片 切割 | ||
【主权项】:
1.一种二极管晶圆划片机构,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)顶端的四个边角处均固定安装有导轨支撑座(3),相对的两个所述导轨支撑座(3)之间均固定连接有第一导向轨(4),两个所述第一导向轨(4)的中部均滑动连接有导向块(5),两个所述导向块(5)的顶端均固定安装有滑轨支撑座(6),两个所述滑轨支撑座(6)之间固定连接有两个平行的第二导向轨(15),两个平行的所述第二导向轨(15)之间滑动连接有电动滑块(11),所述电动滑块(11)与外接电源电性连接,所述电动滑块(11)的底端固定安装有导向座(12),所述导向座(12)底端的中部固定安装有伸缩调节柱(14),所述伸缩调节柱(14)的底端固定安装有划片刀(13)。/n
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