[实用新型]一种二极管晶圆划片机构有效
申请号: | 201920536498.1 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN209832245U | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67 |
代理公司: | 37254 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘丽 |
地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导向轨 伸缩调节 片刀 本实用新型 导轨支撑座 滑轨支撑座 电动滑块 滑动连接 导向块 导向座 底端 晶圆 平行 工作台顶端 二极管 方便调节 紧固螺栓 边角处 工作台 划片 切割 | ||
本实用新型公开了一种二极管晶圆划片机构,包括工作台,工作台顶端的四个边角处均固定安装有导轨支撑座,相对的两个导轨支撑座之间均固定连接有第一导向轨,两个第一导向轨的中部均滑动连接有导向块,两个导向块的顶端均固定安装有滑轨支撑座,两个滑轨支撑座之间固定连接有两个平行的第二导向轨,两个平行的第二导向轨之间滑动连接有电动滑块,电动滑块的底端固定安装有导向座,导向座底端的中部固定安装有伸缩调节柱,伸缩调节柱的底端固定安装有划片刀,本实用新型的有益效果是设有的第一导向轨和第二导向轨,方便调节划片刀的XY方向,便于更好的切割,设有的伸缩调节柱和紧固螺栓,便于调节划片刀到晶圆之间的距离。
技术领域
本实用新型涉及一种划片机构,特别涉及一种二极管晶圆划片机构。
背景技术
二极管,(英语:Diode),电子元件当中,一种具有两个电极的装置,只允许电流由单一方向流过,许多的使用是应用其整流的功能。而变容二极管(Varicap Diode)则用来当作电子式的可调电容器。大部分二极管所具备的电流方向性我们通常称之为“整流(Rectifying)”功能。二极管最普遍的功能就是只允许电流由单一方向通过(称为顺向偏压),反向时阻断 (称为逆向偏压)。因此,二极管可以想成电子版的逆止阀。
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%。
晶圆常被用作衬底,为了工艺需要,需要对衬底的大小进行裁切,常见的衬底裁切多数紧靠直尺和切刀手动完成,手动裁切过程中,操作员的劳动强度大而且裁切出来的衬底大小之间误差较大,容易对衬底造成损坏,因此提供一种二极管晶圆划片机构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种二极管晶圆划片机构,以解决上述背景技术中提出的操作员的劳动强度大而且裁切出来的衬底大小之间误差较大的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种二极管晶圆划片机构,包括工作台,所述工作台顶端的四个边角处均固定安装有导轨支撑座,相对的两个所述导轨支撑座之间均固定连接有第一导向轨,两个所述第一导向轨的中部均滑动连接有导向块,两个所述导向块的顶端均固定安装有滑轨支撑座,两个所述滑轨支撑座之间固定连接有两个平行的第二导向轨,两个平行的所述第二导向轨之间滑动连接有电动滑块,所述电动滑块与外接电源电性连接,所述电动滑块的底端固定安装有导向座,所述导向座底端的中部固定安装有伸缩调节柱,所述伸缩调节柱的底端固定安装有划片刀。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述工作台底端的四个边角处均固定安装有橡胶调节脚。
作为本实用新型的一种优选技术方案,两个所述导向块之间固定连接有辅助导轨,所述辅助导轨与导向座滑动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述工作台的两侧固定嵌设有标尺,两个所述导向块的一侧均固定安装有指针,两个所述指针的一端与对应的标尺相接触。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述工作台顶端的中部嵌设有真空吸盘,所述真空吸盘的控制关节位于工作台的底端。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述伸缩调节柱的套筒侧壁上螺纹连接有紧固螺栓。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型一种二极管晶圆划片机构,通过设有的第一导向轨和第二导向轨,方便调节划片刀的XY方向,便于更好的切割,通过设有的伸缩调节柱和紧固螺栓,便于调节划片刀到晶圆之间的距离,综上所述,本实用新型具有操作简便,定位划片精度高,能够减轻了工人的劳动强度,提高了晶圆的划片效率,此外,本实用新型结构设计合理,使用方便可靠,适合推广使用。
附图说明
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