[实用新型]一种湿法清洗机台的输液系统有效
| 申请号： | 201920441651.2 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN209591992U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 吕慧超;叶日铨;刘家桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种湿法清洗机台的输液系统，属于机械设备领域。该输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，第一进料管和第二进料管均与混合箱连接，混合液输送管的输入端与混合箱连接，混合液输送管的输出端与喷嘴连接，温度控制单元与混合液输送管连接，温度控制单元用于控制混合液输送管中的混合液温度，以使喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。由于该输液系统包括温度控制单元，温度控制单元可以保持喷嘴处的混合液的温度不低于预设温度，从而在晶圆制作过程中提高去除沾污的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 温度控制单元 混合液输送管 输液系统 喷嘴 进料管 混合箱 混合液 湿法清洗机台 预设 机械设备领域 本实用新型 控制混合 制作过程 输出端 输入端 输送管 晶圆 去除 沾污 | ||
【主权项】：
1.一种湿法清洗机台的输液系统，其特征在于，所述输液系统包括：第一进料管、第二进料管、混合箱、混合液输送管、温度控制单元和喷嘴，其中，所述第一进料管和所述第二进料管均与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输入端与所述混合箱连接，所述混合液输送管的输出端与所述喷嘴连接，所述温度控制单元与所述混合液输送管连接，所述温度控制单元用于控制所述混合液输送管中的混合液温度，以使所述喷嘴处的混合液的温度大于或等于预设温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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