[实用新型]用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器有效
| 申请号： | 201920384600.0 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209819883U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王静强;徐福兴 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H3/08 | 分类号： | F24H3/08;F24H9/18;F24H9/20;F26B21/14;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种包括石英壳体、石英螺旋气管、碳素加热器和K型热电偶的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，石英壳体具有进气管和排气管，石英螺旋气管安装于石英壳体内部，其一端连接进气管，另一端位于石英壳体内，碳素加热器安装于石英壳体内部用于对高纯氮气加热，K型热电偶安装于石英壳体内部用于监测高纯氮气的温度。碳素加热器可快速将经由石英螺旋气管进入腔体内的高纯氮气加热，且石英螺旋气管增加了氮气被加热的路径以及加热器的氮气加热量，不仅提高了高纯氮气加热器的加热速度，还实现了高温高纯氮气供应量满足氮气用量需求的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 高纯氮气 螺旋气管 加热 加热器 碳素加热器 壳体内部 氮气 石英壳体 进气管 体内 本实用新型 氮气用量 干燥工艺 一端连接 供应量 加热量 进入腔 排气管 晶圆 监测 | ||
【主权项】：
1.用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其特征在于，包括：/n整体焊接的石英壳体，其具有进气管和排气管；/n安装于石英壳体内部的石英螺旋气管，其一端连接所述进气管，另一端位于所述石英壳体内；/n碳素加热器，安装于所述石英壳体内部，用于对高纯氮气加热，所述碳素加热器的外围设置有密封包覆加热丝的石英管；/nK型热电偶，安装于所述石英壳体内部，用于监测高纯氮气的温度。/n
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