[实用新型]一种自动化硅片传输装置

摘要

本实用新型涉硅片运输技术领域，尤其为一种自动化硅片传输装置，包括转动架、安装架、传动座和支撑架，所述安装架内部的下方位置上安装有输料电缸，所述输料电缸的上方位置上安装有转动箱，所述转动箱内部的中间位置上安装有输料电机，所述传动座通过滚珠与输料丝杆连接，所述传动座的左右两侧对称安装有第一运输板和第二运输板，所述安装架下方的左右两侧对称设置有支撑架，两个所述支撑架上方的中间位置上皆设置有转动架，所述转动架通过转轴与支撑架之间转动连接；本实用新型中，通过设置传动座、第一运输板和第二运输板，装置采用双向运输方式，运输效率高，运输质量高，提高了经济效益和运输质量。

主权项

1.一种自动化硅片传输装置，包括转动架(1)、安装架(2)、传动座(3)和支撑架(6)，其特征在于：所述安装架(2)内部的下方位置上安装有输料电缸(7)，所述输料电缸(7)的上方位置上安装有转动箱(14)，所述输料电缸(7)的活塞杆与转动箱(14)连接，所述转动箱(14)内部的中间位置上安装有输料电机(15)，所述输料电机(15)的输出轴与输料臂(16)一端连接，所述输料臂(16)另一端的下方位置上安装有第二真空吸盘(17)，所述第二真空吸盘(17)的下方位置上设置有板库箱(8)，所述板库箱(8)安装在固定座(20)上，所述固定座(20)的右侧位置上安装有调节箱(9)，所述调节箱(9)内部的下方位置上安装有调节电机(18)，所述调节电机(18)的输出轴通过联轴器与调节丝杆(19)之间转动连接，所述调节丝杆(19)上的滚珠与固定座(20)连接，所述调节箱(9)后上方的安装架(2)上安装有传动电机(30)，所述传动电机(30)上方的安装架(2)上安装有输料丝杆(4)，所述传动电机(30)输出轴上的传动轮通过传动皮带与输料丝杆(4)上的传动轮之间转动连接，所述输料丝杆(4)上安装有传动座(3)，所述传动座(3)通过滚珠与输料丝杆(4)连接，所述传动座(3)的左右两侧对称安装有第一运输板(11)和第二运输板(13)，所述第一运输板(11)以及第二运输板(13)的上表面上安装有第一真空吸盘(12)，所述安装架(2)下方的左右两侧对称设置有支撑架(6)，两个所述支撑架(6)上方的中间位置上皆设置有转动架(1)，所述转动架(1)通过转轴与支撑架(6)之间转动连接，所述支撑架(6)上安装有转动电机(5)，所述转动电机(5)的输出轴通过联轴器与转动架(1)的转轴之间转动连接，所述转动架(1)上方的左右两侧对称安装有第二传动箱(29)和第一传动箱(24)，所述第一传动箱(24)以及第二传动箱(29)内部的上方位置上安装有控位电机(23)，所述第一传动箱(24)以及第二传动箱(29)内部的中间位置上纵向安装有控位丝杆(28)，所述控位丝杆(28)通过联轴器与控位电机(23)的输出轴之间转动连接，所述第二传动箱(29)的左侧位置上安装有第一U型架(21)，所述第一U型架(21)通过滚珠与第二传动箱(29)内部的控位丝杆(28)连接，所述第一传动箱(24)的右侧位置上安装有第二U型架(25)，所述第二U型架(25)通过滚珠与第一传动箱(24)内部的控位丝杆(28)连接。