[实用新型]一种适应不同硅片尺寸石英舟

摘要

本实用新型公开了一种适应不同硅片尺寸石英舟。该石英舟包括结构相同且相互平行设置的第一侧板和第二侧板，第一侧板开有阶梯形的第一通槽，阶梯形的第一通槽包括多个槽角，第一通槽相对于水平面倾斜设置，第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱。本实用新型在侧板上设置阶梯形的通槽，通槽包括有槽角，石英柱置于槽角内，使用者可以通过将石英柱置于不同的槽角内以达到调节两石英柱之间间距的目的，进而使得石英舟能适应不同规格的硅片。

主权项

1.一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，其特征在于：所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。