[发明专利]基于氢氧终端全垂直结构的金刚石核探测器及制备方法

摘要

本发明涉及一种基于氢氧终端全垂直结构的金刚石核探测器及制备方法，制备方法包括：在金刚石衬底的上下表面形成由碳‑氢键覆盖的氢终端；在两个所述氢终端的表面分别形成欧姆接触电极；在未被所述欧姆接触电极覆盖的金刚石衬底表面形成氧终端，得到所述基于氢氧终端全垂直结构的金刚石核探测器。本发明的方法，利用金刚石的氢终端表面具有负的电子亲和能，很容易形成欧姆接触，结合具有较高的功函数的金属与金刚石的氢终端表面形成欧姆接触电极，克服了金刚石表面难以制备欧姆接触电极的问题，实现了金刚石超低阻抗的欧姆接触，利用氧终端抑制表面漏电，降低金刚石核探测器的暗电流，从而提高了金刚石核探测器的性能。