[发明专利]基于单晶硅纳米膜/石墨烯的柔性光电探测器及制备方法

摘要

本发明公开一种基于单晶硅纳米膜/石墨烯的柔性光电探测器及制备方法，该光电探测器由聚酰亚胺衬底、金属互连导线、单晶硅纳米薄膜、单原子层石墨烯以及顶层聚酰亚胺组成。本发明基于体硅/石墨烯肖特基异质结光电探测器优异性能的基础上，将体硅减薄到纳米级尺度，使原本大而坚硬的固体硅变得薄而柔且可实现较大程度上的弯曲，经柔性封装材料聚酰亚胺封装后，在保留体硅/石墨烯异质结优异光电探测性能的基础上，还具有了超薄、柔性的优点，结合聚酰亚胺的高绝缘性和良好的生物相容性，大大拓宽了硅/石墨烯异质结光电探测器的应用领域，尤其是生物医学领域、可穿戴电子设备领域等。