[发明专利]一种压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201911403875.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111174957A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 桑新文;盛云 | 申请（专利权）人： | 苏州纳芯微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 常伟 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及制备方法，该压力传感器包括自下而上叠至的硅衬底、粘结层、检测电路及硅膜结构，其中，该粘结层中设置空腔，检测电路设置于该硅膜结构朝向该硅衬底的一侧。本发明提供的压力传感器能够克服检测电路暴露环境中造成传感器的稳定性降低的问题，以及，避免压力传感器的膜结构的破裂问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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