[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效

专利信息
申请号: 201911333546.8 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN110983301B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 申请(专利权)人: 通威太阳能(安徽)有限公司
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 230088 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。本发明通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;镀膜段全程自动化识别镀膜,最大化保证膜色稳定,减少膜色异常,确保品质稳定。
搜索关键词: 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法
【主权项】:
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