[发明专利]一种镀膜管P设备高频自动补镀方法有效
申请号: | 201911333546.8 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110983301B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 朱浩;吴朋朋;张基勇;万柳斌;黄秀富;方雯;蒋柱 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/50;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 周勇 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种镀膜管P设备高频自动补镀方法,包括以下步骤:设备出现高频,系统控制石墨舟自动跳步离开沉积工艺、并记录运行过的沉积步骤和时间;高频石墨舟出舟,进行降温、处理,处理完成后将高频石墨舟重新放至设备中;系统识别石墨舟,并控制设备从跳步处继续进行未运行的沉积步骤。本发明通过自动识别补镀工艺减少人为干涉,极大产能提升;因减少人员干涉,节省车间工艺人员人力,节约人力成本;镀膜段全程自动化识别镀膜,最大化保证膜色稳定,减少膜色异常,确保品质稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 设备 高频 自动 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通威太阳能(安徽)有限公司,未经通威太阳能(安徽)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911333546.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种基于污水处理的小区污水排放装置
- 下一篇:一种新型加锡焊机构
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的