[发明专利]吸附结构及其吸附方法、吸附装置在审
| 申请号： | 201911308429.6 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111071781A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 曹河江 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种吸附结构及其吸附方法、吸附装置，所述吸附结构包括吸附中空体以及与所述吸附中空体相连通的进气管、排气管以及吸附件，且所述排气管上设置有止回结构，以防止所述吸附中空体排出的气体返回所述吸附中空体；相比于现有技术，本发明提供的吸附结构不需要提供真空便可改变吸附中空体内的气压，以完成吸附结构对面板的吸附操作，以达到节省能源和工业智能化的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 结构 及其 方法 装置 | ||
【主权项】：
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