[发明专利]一种靶材组件中安装自攻螺套的方法在审
| 申请号： | 201911303939.4 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN110977328A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;钱百峰;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P13/00 | 分类号： | B23P13/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种靶材组件中安装自攻螺套的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)使用与自攻螺套配套的钻头，应用攻丝机在靶材组件溅射面钻孔；(2)使用攻丝机将自攻螺套安装在步骤(1)所得钻孔中，完成自攻螺套的安装。本发明通过采用攻丝机完成钻孔，然后采用螺套自动安装装置安装自攻螺套，避免了纯手动安装螺套带来的安装深度不均匀的问题，保证了磁控溅射时的质量与稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组件 安装 攻螺套 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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