[发明专利]柔性电极支撑结构有效
| 申请号： | 201911188540.6 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110879111B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郜晨希;林琳;王迪;郑旭;刘瑞琪;远雁;李超波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电极支撑结构，该柔性电极支撑结构为圆环方波型结构，置于柔性电极外壳台阶处，用于支撑陶瓷定电极，并调节陶瓷定电极与金属动电极之间的电容距离。本发明提出的柔性电极支撑结构采用圆环方波结构，在高精度薄膜传感器中，柔性电极支撑结构作为连接媒介，在温度变化时，通过弹性形变来吸收和释放陶瓷与金属热膨胀系数不同引起的机械迟滞，可以有效避免金属动电极和陶瓷定电极热膨胀系数不同导致的机械迟滞。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电极 支撑 结构 | ||
【主权项】：
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