[发明专利]含异氰脲酸和聚醚骨架的硅氧烷聚合物、感光性树脂组合物和图案形成方法有效
| 申请号： | 201911179203.0 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111234236B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 丸山仁;曾我恭子 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G77/46 | 分类号： | C08G77/46;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为含异氰脲酸和聚醚骨架的硅氧烷聚合物、感光性树脂组合物和图案形成方法。提供了一种硅氧烷聚合物，其在主链中包含聚硅氧烷、硅亚苯基、异氰脲酸和聚醚骨架，并且在侧链中具有环氧基。涂覆包含该硅氧烷聚合物和光致产酸剂的感光性树脂组合物以形成膜，该膜可以使用波长变化宽的辐射来图案化。图案化膜具有高透明度和耐光性。 | ||
| 搜索关键词： | 含异氰脲酸 骨架 硅氧烷 聚合物 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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