[发明专利]一种微流控芯片非接触电导检测池及制备方法

摘要

一种微流控芯片非接触电导检测池及制备方法，属于芯片微加工领域。该检测池的外壳为接地金属盒，检测池内包括微流控芯片、外接毛细管、导线、BNC接头和四根金属丝。一根金属丝作为激发电极，一根金属丝作为感应电极，两根处于相对位置的金属丝作为接地屏蔽电极以减少两电极耦合而产生的杂散电容。微流控芯片上的电极通道和检测通道可以采用一步化学湿法刻蚀技术制备，从而实现精确的检测池几何设计。微流控芯片经键合后，将金属丝的一端插入所需的电极通道中，利用环氧胶将其固定，另一端通过导线与BNC接头相连即完成检测池的制备。该方法实施简便、安全、检测池几何参数可控、重复性好，可用于构建微流控芯片非接触电导检测系统。

主权项

1.微流控芯片非接触电导检测池，其特征在于，该检测池的外壳为接地金属盒，检测池内包括微流控芯片、外接毛细管、导线、BNC接头和四根金属丝；微流控芯片设有贯通的待测液体的检测通道，检测通道的两端分别插入一根毛细管并伸出接地金属盒外，检测通道和毛细管为在一条直线A上，在直线A的两侧分别各设有一个直线型的接地屏蔽电极通道，两接地屏蔽电极通道在一条直线B上且不连通，且直线B垂直直线A，接地屏蔽电极通道靠近检测通道的一端距离检测通道的间隙为15-105μm(也称为厚度)，此间隙形成绝缘结构，接地屏蔽电极通道内各设置一根金属丝作为接地屏蔽电极；在检测通道两侧，且每个接地屏蔽电极通道的一侧各设有一与接地屏蔽电极通道平行的激发电极通道/或感应电极通道，即其中一个为激发电极通道，另一个则为感应电极通道，共两个电极通道；感应电极通道和激发电极通道不在一条直线上，感应电极通道和激发电极通道内分别设有抱一个金属丝作为对应的感应电极和激发电极；感应电极和激发电极伸出对应通道的一端分别连接一个BNC接头；BNC接头一端伸出接地金属盒；接地屏蔽电极通道、检测通道、激发电极通道、感应电极通道共平面。/n