[发明专利]一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置在审
| 申请号： | 201911015244.6 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110670021A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 刘国利;周毅;李国强 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，加热辊包括空心辊筒、端板、支撑轴，支撑轴为空心轴，空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内；屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环。本发明的高温加热辊装置能够长期在真空环境下使用，可满足基材高温镀膜的要求，实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产，提高基材镀膜品质及生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑轴 空心辊筒 线圈支撑筒 加热辊 冷却环 电磁加热器 高温加热 安装轴 辊装置 屏蔽 端板 基材 滚动轴承 气密性焊接 真空镀膜机 真空镀膜室 镀膜生产 感应线圈 高温镀膜 高温工艺 基材镀膜 生产效率 真空镀膜 真空环境 真空密封 空心轴 屏蔽板 室内 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，其特征在于：在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，所述加热辊包括空心辊筒、空心辊筒两侧的端板、与端板连接的支撑轴，一端支撑轴安装在真空镀膜室内的支撑轴座上，另一端支撑轴通过磁流体密封装置安装在真空镀膜室壁上并延伸至真空镀膜室外，支撑轴为空心轴，所述空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；/n所述电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内，/n所述屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环，冷却环安装在支撑轴上，冷却环内部通有冷却水，屏蔽板安装在靠近空心辊筒一侧的冷却环上。/n
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