[发明专利]一种晶体生长装置以及晶体生长方法有效
| 申请号： | 201911010751.0 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110670118B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B7/14 | 分类号： | C30B7/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体生长装置以及晶体生长方法。晶体生长装置包括反应釜，所述反应釜包括：反应釜釜体，具有第一开口；衬管，用于通过所述第一开口放入所述反应釜釜体内，具有第二开口；所述衬管放入所述反应釜釜体内以后，所述第二开口朝向所述第一开口；所述衬管的内部区域包括原料区以及生长区，所述原料区用于放置原料，所述生长区用于放置籽晶；密封件，用于密封所述第一开口，且具有可以被密封的溶剂进孔，所述溶剂进孔用于向所述衬管内通入溶剂。利用本发明的晶体生长装置进行目标晶体的生长时，可以有效提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶体生长装置，其特征在于，包括反应釜装置，所述反应釜装置包括：/n反应釜釜体，具有第一开口；/n衬管，用于通过所述第一开口放入所述反应釜釜体内，具有第二开口；所述衬管的内部区域包括原料区以及生长区，所述原料区用于放置原料，所述生长区用于放置籽晶；/n密封件，用于密封所述第一开口，密封件上具有溶剂进孔，溶剂进孔用于由所述第二开口向所述衬管内通入溶剂。/n
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