[发明专利]薄膜器件的制备方法、电子传输层以及发光器件在审
| 申请号： | 201910955435.4 | 申请日： | 2019-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN110660648A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张振星;高远;李明 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L33/06;H01L33/14 |
| 代理公司： | 33336 宁波聚禾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 糜婧 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了薄膜器件的制备方法、电子传输层以及发光器件。其中，薄膜器件的制备方法，包括以下步骤：S1，于底材上制备氧化锌薄膜，氧化锌薄膜包括掺杂或不掺杂的氧化锌；S2，使氧化锌薄膜的表面浸于硫化物无机盐的溶液中，硫化物无机盐与氧化锌薄膜表面的材料反应，在氧化锌薄膜的表面形成硫化锌无机层。本发明使氧化锌薄膜的表面直接与硫化物无机盐溶液进行接触，利用硫化物无机盐与氧化锌薄膜的反应，在氧化锌薄膜的表面形成一层硫化锌无机层，该硫化锌无机层的存在可以改善氧化锌薄膜的表面态，有利于减少设置在薄膜器件表面的发光材料与氧化锌之间的相互作用，进而对提高器件的发光性能有利。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌薄膜 硫化物 无机盐 薄膜器件 硫化锌 无机层 表面形成 氧化锌 制备 氧化锌薄膜表面 制备氧化锌薄膜 电子传输层 无机盐溶液 发光材料 发光器件 发光性能 表面态 掺杂的 底材 掺杂 | ||
【主权项】：
1.薄膜器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1，于底材上制备氧化锌薄膜，所述氧化锌薄膜包括掺杂或不掺杂的氧化锌；/nS2，使所述氧化锌薄膜的表面浸于硫化物无机盐的溶液中，所述硫化物无机盐溶液与所述氧化锌薄膜表面的材料反应，在所述氧化锌薄膜的表面形成硫化锌无机层。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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