[发明专利]用于监视流动参数的方法在审
| 申请号： | 201910927930.4 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110967941A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 赖恩浩;杨基;简上傑;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本案提供一种用于监视流动参数的方法，包括以下步骤：利用来自液滴照明模组的光照射极紫外光刻工具的极紫外光源中的靶液滴。侦测由靶液滴反射及/或散射的光。执行粒子影像测速以监视极紫外光源内部的一或多个流动参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监视 流动 参数 方法 | ||
【主权项】：
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