[发明专利]双头固晶机有效
| 申请号： | 201910921332.6 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110534464B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张跃春;梁国康;梁国城;李金龙;罗宇 | 申请（专利权）人： | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/68;H01L33/48 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 刘晓燕 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了双头固晶机，包括机架、用于固定晶片的晶环组件以及两个固晶机构，所述机架上设有所述晶环组件，两个所述固晶机构关于晶环组件对称设于机架上，所述固晶机构包括用于校正晶片位置的校正机构，所述校正机构包括校正台和校正镜筒，所述校正台用于校正所述晶片的位置，所述校正镜筒设于校正台的正上方。校正机构通过校正台和校正镜筒可以矫正芯片在移动过程中发生的偏差，提高固晶机固定晶片的精度和固晶机的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 双头固晶机 | ||
【主权项】：
1.双头固晶机，包括机架、用于固定晶片的晶环组件以及两个固晶机构，所述机架上设有所述晶环组件，两个所述固晶机构关于晶环组件对称设于机架上，其特征在于：所述固晶机构包括用于校正晶片位置的校正机构，所述校正机构包括校正台和校正镜筒，所述校正台用于校正所述晶片的位置，所述校正镜筒设于校正台的正上方。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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