[发明专利]一种原位在线反射光学测量系统及方法在审

专利信息
申请号: 201910919383.5 申请日: 2019-09-26
公开(公告)号: CN110726682A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 张雷;王译那;姜明顺;张法业;隋青美;贾磊 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G01N21/27 分类号: G01N21/27;C23C16/52
代理公司: 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 代理人: 董雪
地址: 250061 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种原位在线反射光学测量系统及方法,包括:用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块;所述材料生长模块包括材料生长部,所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口;所述光学检测模块包括光源,所述光源发出的光经过传递自所述的窗口入射到样品上,经反射后,出射光自所述窗口射出并被光谱仪收集。本发明实现了CVD生长设备与光学检测设备的联用,达到了原位、在线、实时、非接触的检测效果;生长设备采用通用的CVD生长设备,对原材料、衬底以及样品没有特殊要求,普适性高,适应性强。
搜索关键词: 材料生长 光学检测模块 出射光 光源 光学测量系统 光学检测设备 生长设备 原位监测 在线反射 光谱仪 非接触 普适性 入射光 通用的 衬底 联用 入射 射出 反射 传递 检测
【主权项】:
1.一种原位在线反射光学测量系统,其特征在于,包括:用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块;/n所述材料生长模块包括材料生长部,所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口;/n所述光学检测模块包括光源,所述光源发出的光经过传递自所述的窗口入射到样品上,经反射后,出射光自所述窗口射出并被光谱仪收集。/n
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  • 2019-08-30 - 2019-12-20 - G01N21/27
  • 本公开涉及数据处理技术领域,具体涉及一种物质检测方法、一种物质检测装置、一种计算机可读介质以及一种通信终端。所述物质检测方法包括:响应于接收到所述终端设备发送的物质检测指令,激活一检测组件;通过所述检测组件对目标物质进行检测,以生成所述目标物质对应的目标光谱数据;将所述目标光谱数据发送至所述终端设备,以使所述终端设备对所述目标光谱数据进行分析,得到检测结果。本公开能够通过移动前端实现在日常生活中的应用,同时可以直接通过检测结果对物质信息进行其他处理,无须人工输入物质信息,能够避免人工输入造成的容易出现错误的问题。
  • 一种基于窄带物联网的农药残留检测器-201920607587.0
  • 梁振纲;符灵梅;纪少凡 - 海南出入境检验检疫局检验检疫技术中心
  • 2019-04-29 - 2019-12-17 - G01N21/27
  • 本实用新型公开一种基于窄带物联网的农药残留检测器。本实用新型提供的农药残留检测器包括:搅拌筒、搅拌电机、搅拌棒、充气钨丝灯、比色皿、分光光度计、ARM芯片、无线数据通信装置和窄带物联网芯片。分光光度计与无线数据通信装置连接,无线数据通信装置与ARM芯片连接,ARM芯片与窄带物联网芯片连接。ARM芯片利用现有的数据格式转换方法将无线数据通信装置发送的无线通信数据转换为窄带物联网的数据格式后,通过窄带物联网芯片将测试数据发送给窄带物联网基站。本实用新型提供的农药残留检测器能够通过窄带物联网将测试数据实时传输给检测中心进行分析,具有功耗低、覆盖范围广、成本低的优点。
  • 具有自动漂移控制和高动态范围的自适应光学分析仪-201880028824.6
  • 肖恩·克里斯汀 - 尼奥里蒂克斯公司
  • 2018-05-11 - 2019-12-17 - G01N21/27
  • 分光镜包括一个光源,至少一个用于操纵或构造光的静态光学元件,至少两个自适应光学元件以及至少一个检测器.至少两个自适应光学元件被配置为划分光谱分类的光学功能,至少一个光学功能为:路由,衰减和/或编码。光源,至少一个静态光学元件和至少两个自适应光学元件被配置为将来自光源的光引导到第一和第二不同的光通道中,第一光通道包含要分析的样品。
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