[发明专利]一种在石英玻璃上制备复杂电路图案的方法在审
| 申请号： | 201910860836.1 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110708880A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 谢小柱;周文倩;龙江游;李俭国;李苗妮 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H05K3/18 | 分类号： | H05K3/18;H05K1/03;C03C17/10 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微电子加工的技术领域，更具体地，涉及一种在石英玻璃上制备复杂电路图案的方法，包括：在石英玻璃表面制备吸光层，采用飞秒激光器按照导入的电路图案在石英玻璃表面诱导加工微纳结构，通过化镀的方法在微纳结构沉积金属粒子形成电路图案。本发明在涂敷油墨层的石英玻璃表面诱导粗糙且规则的微纳结构，有效增加化镀金属粒子与微纳结构之间的结合力；通过化学镀方法在沉积金属粒子，金属粒子沉积均匀且均为有效沉积，得到线宽为7μm～9μm的各种复杂电路图案，可以满足不同领域、不同系统在石英玻璃上低损耗通电的需求；整个加工过程简便高效，化学镀过程能够实现批量制造，能够很好地适应工业生产中高效、实惠的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 微纳结构 石英玻璃表面 沉积金属 电路图案 复杂电路 石英玻璃 制备 粒子 诱导 图案 飞秒激光器 化学镀过程 微电子加工 金属粒子 粒子形成 批量制造 有效沉积 低损耗 镀金属 化学镀 结合力 吸光层 油墨层 涂敷 线宽 沉积 粗糙 通电 加工 | ||
【主权项】：
1.一种在石英玻璃上制备复杂电路图案的方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS10.在石英玻璃表面制备吸光层得到待加工石英玻璃；/nS20.飞秒激光加工控制系统根据待加工的电路图案设置飞秒激光器的加工参数，将步骤S10所述待加工石英玻璃加载于XYZ运动平台，飞秒激光加工控制系统控制XYZ运动平台运动及控制飞秒激光器工作，实现飞秒激光加工，在待加工石英玻璃表面诱导加工规则的微纳结构；/nS30.取下飞秒激光加工完成的石英玻璃，清洗去除吸光层，并进行干燥，得到待镀石英玻璃；/nS40.将步骤S30中所述待镀石英玻璃没入化学镀液中，并在60℃～80℃条件下加热化镀15min～30min，在所述微纳结构处镀上导电层得到导电石英玻璃，所述电路图案的宽度为7μm～9μm；/nS50.取出步骤S40中所述导电石英玻璃，清洗干燥。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东工业大学，未经广东工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910860836.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种软硬结合板塞孔的处理方法
- 下一篇：一种PCB表面处理方法
