[发明专利]合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法及装置在审
| 申请号： | 201910585933.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110318035A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 麦耀华;朱红兵 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/44 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄媛君 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法及装置，该方法包括如下步骤：将真空腔室抽成真空；由外部电源加热真空腔室内的两条或多条热丝；真空腔室内通入至少一种反应气体；反应气体与热丝表面发生反应形成金属化合物；控制热丝加热温度使金属化合物升华并沉积到位于真空腔室内的衬底基板表面，从而形成金属化合物薄膜。本发明将热丝作为加热源同时也作为原材料，实现多元金属化合物薄膜的制备。本发明制备得到的多元金属化合物薄膜可以广泛应用于太阳电池、电致变色器件、超级电容器、光电传感器、晶体管等器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 热丝 薄膜 沉积方法及装置 多元金属化合物 合金化合物 金属化合物 反应气体 真空腔 室内 制备 金属化合物薄膜 电致变色器件 超级电容器 光电传感器 衬底基板 抽成真空 加热真空 外部电源 真空腔室 加热源 晶体管 沉积 加热 升华 应用 | ||
【主权项】：
1.合金化合物薄膜的分立式多热丝沉积方法，其特征在于，包括如下步骤：将真空腔室抽成真空；由外部电源加热真空腔室内的两条或多条热丝；真空腔室内通入至少一种反应气体；反应气体与热丝表面发生反应形成金属化合物；控制热丝加热温度使金属化合物升华并沉积到位于真空腔室内的衬底基板表面，从而形成金属化合物薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于暨南大学，未经暨南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910585933.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：硼系膜的成膜方法和成膜装置
- 下一篇：碳化钛耐磨陶瓷涂层及其制备方法和应用
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
