[发明专利]一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法在审
| 申请号： | 201910532487.0 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110207868A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 唐毓;李世琴;梅永松;黄赛鹏;张飞;丁松年;冯华伟;戚星宇 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法。包含以下三个步骤：利用毛细管将光响应材料涂覆到微悬臂梁阵列上，其中第一根悬臂梁为对照组，第二根至第八根微悬臂梁修饰有不同浓度的光响应材料；通过紫外光和可见光光源对光响应材料的交替照射，使其发生光致异构化，导致微悬臂梁发生弯曲，实现光控致动器的制备；通过激光照射在微悬臂梁阵列自由端上，反射的光线在光电位置敏感探测器上形成光斑，微悬臂梁的弯曲会导致光斑发生位移，通过对光斑的位移检测实现对微梁表面应力的检测。充分利用微悬臂梁的微米级尺寸、实时、可以痕量检测应力等优点，结合光响应材料光致异构特点，实现微纳光控致动器的制备及性能检测。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 致动器 光控 制备 光响应材料 光斑 传感技术 微悬臂 检测 光致异构化 可见光光源 敏感探测器 表面应力 光电位置 光致异构 痕量检测 激光照射 三个步骤 位移检测 响应材料 性能检测 紫外光 毛细管 微米级 悬臂梁 自由端 涂覆 微梁 反射 修饰 照射 | ||
【主权项】：
1.一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法，其特征在于：包含以下三个模块：(1)光响应材料修饰模块；(2)光控致动器制备模块；(3)微悬臂梁应力检测模块。
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