[发明专利]非可见光波段埃里斑能量分布及圆整度检测方法有效
| 申请号： | 201910483133.1 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110243466B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 赵跃东 | 申请（专利权）人： | 南京东利来光电实业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01J1/04;G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 211132 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本技术提供了一种能够对非可见光波段的埃里斑能量分布特性及圆整度的检测方法，光源发出的非可见光波段准直光束，经扩束镜扩束、聚光镜汇聚到聚光镜的焦点位置处的针孔板上，光束经针孔板发散，经分光棱镜后，再经管镜系统以平行光出射，通过被测物镜聚焦在平面反射镜的表面上，光线经反射，沿原光路返回，再经分光棱镜聚焦在CCD10的靶面位置；在被测物镜景深范围内通过调节平面反射镜相对于被测物镜在光轴上的不同位置，寻找被测物镜的焦点位置，并对景深范围内不同位置的埃里斑图像进行采样，并进行能量分布及圆整度分析。光线沿原光路返回一次，被测物镜的像差在采样CCD上放大2倍，被测物镜的埃里斑像差比常规采用透过照明的方式更加易于判别。 | ||
| 搜索关键词： | 可见光 波段 埃里斑 能量 分布 圆整 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.非可见光波段埃里斑能量分布及圆整度检测方法，其特征是：光源（1）发出的非可见光波段准直光束，经扩束镜（2）扩束后，再经聚光镜（3）汇聚到聚光镜的焦点位置处的针孔板（4）上，光束经针孔板发散，经分光棱镜（5）后，再经管镜系统（6）以平行光出射，通过被测物镜（7）聚焦在平面反射镜（8）的表面上，光线经反射，沿原光路返回，再经分光棱镜（5）聚焦在CCD（10)的靶面位置；在被测物镜（7）景深范围内通过调节平面反射镜（8）相对于被测物镜（7）在光轴上的不同位置，寻找被测物镜（7）的焦点位置，并对景深范围内不同位置的埃里斑图像进行采样，并进行能量分布及圆整度分析。
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