[发明专利]晶圆甩干机以及用于晶圆甩干机的限位机构

摘要

本申请公开了一种晶圆甩干机以及用于晶圆甩干机的限位机构，该晶圆甩干机包括：甩干机腔体，设有甩干腔，甩干腔用于容置料盒，料盒装有晶圆且与甩干机腔体同步旋转，同时料盒设有一暴露晶圆至少部分的开口；限位机构，位于甩干腔内且偏离甩干机腔体的旋转轴设置，限位机构与甩干机腔体同步旋转，包括互斥的第一活动件以及第二活动件，在甩干机腔体开始旋转时，在各自向心力的作用下，第一活动件背向旋转轴方向移动，第二活动件朝向旋转轴方向移动，以使第二活动件抵顶料盒内的晶圆自开口暴露的至少部分，进而使晶圆定位在料盒中。本申请所提供的晶圆甩干机能够避免晶圆在甩干过程中发生缺角或破片。

主权项

1.一种晶圆甩干机，其特征在于，包括：甩干机腔体，设有甩干腔，所述甩干腔用于容置料盒，所述料盒装有晶圆且与所述甩干机腔体同步旋转，同时所述料盒设有一暴露所述晶圆至少部分的开口；限位机构，位于所述甩干腔内且偏离所述甩干机腔体的旋转轴设置，所述限位机构与所述甩干机腔体同步旋转，包括互斥的第一活动件以及第二活动件，在所述甩干机腔体开始旋转时，在各自向心力的作用下，所述第一活动件背向所述旋转轴方向移动，所述第二活动件朝向所述旋转轴方向移动，以使所述第二活动件抵顶所述料盒内的所述晶圆自所述开口暴露的至少部分，进而使所述晶圆定位在所述料盒中。