[发明专利]一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备在审
| 申请号： | 201910439599.1 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN110206958A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 葛林海;丁高生;陈景韶;葛林新;李杰 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | F16L47/28 | 分类号： | F16L47/28;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备，所述结合结构包括：底板；内管，所述内管焊接在所述底板上，所述内管的上表面与所述底板的上表面焊接，所述底板的下表面与所述内管的外侧壁焊接，所述内管包括在上的排水段和在下的柔性段，所述柔性段与排水段的内侧壁光滑连接，所述柔性段的外径小于所述排水段的外径；以及外管，所述外管固定在所述底板下部且套设在所述内管外部，所述外管包括在上的接头段和在下的导水段，所述导水段的顶端与所述接头段的底端连接，所述接头段的内径大于所述排水段的外径。本发明的有益效果为能够有效防止泄漏，从而不会因为泄漏造成设备的暂停维修而造成损失。 | ||
| 搜索关键词： | 内管 底板 排水段 结合结构 接头段 柔性段 外管 焊接 晶圆清洗设备 双层防漏 上表面 导水 泄漏 底板下部 光滑连接 内侧壁 外侧壁 下表面 底端 维修 外部 | ||
【主权项】：
1.一种双层防漏的管与板的结合结构，其特征在于，所述结合结构包括：底板（1）；内管（2），所述内管（2）焊接在所述底板（1）上，所述内管（2）的上表面与所述底板（1）的上表面焊接，所述底板（1）的下表面与所述内管（2）的外侧壁焊接，所述内管（2）包括在上的排水段（21）和在下的柔性段（22），所述柔性段（22）与排水段（21）的内侧壁光滑连接，所述柔性段（22）的外径小于所述排水段（21）的外径；以及外管（3），所述外管（3）固定在所述底板（1）下部且套设在所述内管（2）外部，所述外管（3）包括在上的接头段（31）和在下的导水段（32），所述导水段（32）的顶端与所述接头段（31）的底端连接，所述接头段（31）的内径大于所述排水段（21）的外径，所述导水段（32）的内径小于所述排水段（21）的外径且大于所述柔性段（22）的外径，所述接头段（31）的底部高度在所述柔性段（22）的顶端和底端两者高度之间。
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