[发明专利]超微线间距的红外液晶光阀及其制造方法在审
| 申请号： | 201910369854.X | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111897165A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 林志坚;王海;曾新勇;方名权 | 申请（专利权）人： | 康惠（惠州）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福;陈惠珠 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲恺高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种能有效将线间距控制于3um之内的超微线间距红外液晶光阀，同时提供一种该超微线间距红外液晶光阀的制造方法，该制造方法包括光刻工艺，所述光刻工艺包括涂胶工序、预烘工序和曝光工序，在所述涂胶工序中，膜厚：0.9±0.15um，均匀性≥90%；预烘工序中，实测温度115℃以上≥20秒，最高温度不超过130℃，MASK曝光中，间距15‑30um，能量80‑140mj/cm |
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| 搜索关键词： | 超微线 间距 红外 液晶 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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