[发明专利]一种膜厚测量方法、系统及化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201910365399.6 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110207584B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 路新春;田芳馨;王同庆 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;B24B37/005;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明适用于化学机械抛光技术领域，提供了一种膜厚测量方法、系统及化学机械抛光装置，其中方法包括：根据离线采集的晶圆膜厚信息以及在抛光期间使用膜厚传感器进行动态测量时输出的信号值，获取输出信号与晶圆膜厚的映射关系；并利用所述映射关系，将所述膜厚传感器在线测量时输出的信号值转换为膜厚值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量方法 系统 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚测量方法，其特征在于，包括：根据离线采集的晶圆膜厚信息以及在抛光期间使用膜厚传感器进行动态测量时输出的信号值，获取输出信号与晶圆膜厚的映射关系；利用所述映射关系，将所述膜厚传感器在线测量时输出的信号值转换为膜厚值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910365399.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：酸槽内钢带位置测量传感器
- 下一篇：一种石墨烯柔性传感器及其制备方法
