[发明专利]ESD防护薄膜晶体管及ESD防护结构

摘要

本发明提供一种ESD防护薄膜晶体管及ESD防护结构。所述ESD防护薄膜晶体管包括：基板、设于所述基板上的有源层、设于所述有源层及基板上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上并与所述有源层相对的栅极、设于所述栅极及栅极绝缘层上的层间绝缘层以及设于所述层间绝缘层上的间隔分布的源极及漏极；所述源极具有数个第一静电释放尖端，所述漏极具有分别正对所述数个第一静电释放尖端的数个第二静电释放尖端，通过在源极和漏极上设置正对的静电释放尖端，使得ESD防护薄膜晶体管同时具有薄膜晶体管释放和尖端释放两种静电释放路径，能够提升静电释放效率，防止线路炸伤，保证产品良率。

主权项

1.一种ESD防护薄膜晶体管，其特征在于，包括：基板(1)、设于所述基板(1)上的有源层(2)、设于所述有源层(2)及基板(1)上的栅极绝缘层(3)、设于所述栅极绝缘层(3)上并与所述有源层(2)相对的栅极(4)、设于所述栅极(4)及栅极绝缘层(3)上的层间绝缘层(5)以及设于所述层间绝缘层(5)上的间隔分布的源极(6)及漏极(7)；所述源极(6)具有数个第一静电释放尖端(60)，所述漏极(7)具有分别正对所述数个第一静电释放尖端(60)的数个第二静电释放尖端(70)。