[发明专利]一种原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构在审

专利信息
申请号: 201910355192.0 申请日: 2019-04-29
公开(公告)号: CN110243274A 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 刘美华;王东爱;王怀文;石岩;刘冰;张文刚 申请(专利权)人: 天津商业大学;天津乾宇超硬科技股份有限公司
主分类号: G01B7/06 分类号: G01B7/06
代理公司: 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 代理人: 徐金生
地址: 300134 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构,包括垂直分布的立柱(7);立柱(7)的上部,与一根水平轴(3)的右端相铰接;水平轴(3)能够围绕立柱(7)的上部,在水平方向进行旋转运动;水平轴(3)的左端固定连接有一个位移传感器(1);位移传感器(1)通过其下方的探针(4),用于对放置在其正下方的薄膜材料,在磨损前和磨损后分别进行测量,获得薄膜材料表面在磨损前后的厚度变化量,该厚度变化量作为薄膜材料的磨损量。本发明能够测量被测材料在磨损前后的厚度变化量,并通过将该厚度变化量作为磨损量,从而能够更加准确、可靠地比较评价摩擦性能接近、耐磨性差异小的两种不同薄膜材料的耐磨性能。
搜索关键词: 厚度变化量 磨损 薄膜材料 立柱 位移传感器 测量薄膜 微量磨损 磨损量 测量 薄膜材料表面 耐磨性 被测材料 比较评价 垂直分布 摩擦性能 耐磨性能 铰接 探针 左端
【主权项】:
1.一种原位精确测量薄膜材料的微量磨损量的机构,其特征在于,包括垂直分布的立柱(7);立柱(7)的上部,与一根水平轴(3)的右端相铰接;水平轴(3)能够围绕立柱(7)的上部,在水平方向进行旋转运动;水平轴(3)的左端固定连接有一个位移传感器(1);位移传感器(1),用于对放置在其正下方的薄膜材料,在磨损前和磨损后分别进行测量,获得薄膜材料表面在磨损前后的厚度变化量,该厚度变化量作为薄膜材料的磨损量。
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