[发明专利]一种超声波切割装置及其切割方法

摘要

本发明涉及超声波切割技术领域，公开了一种超声波切割装置及其切割方法，包括：超声波发生器用于将市电转换成高频高电压交流电流，超声波换能器用于将输入的高频高电压交流电流转换为输出功率大于100W的超声波，超声波换能器将超声波转换为机械振动，超声波换能器输出振幅；超声波变幅器用于将超声波换能器的输出振幅放大，并输出振幅；金刚石切割刀设置于超声波变幅器的节点处，金刚石切割刀用于进一步放大超声波变幅器的输出振幅，集中超声波能量垂直作用于被切割玻璃、硅晶圆或陶瓷的切割部位。本发明可直接异形加工，自动化程度高、对被切割物体固定效果好、加工精度高、消音效果好。

主权项

1.一种超声波切割装置的切割方法，其特征在于，包括以下步骤：由超声波发生器将市电转换成高频高电压交流电流输给超声波换能器；由所述超声波换能器将输入的所述高频高电压交流电流转换为输出功率大于100W的超声波，所述超声波换能器将所述超声波转换为机械振动，所述超声波换能器输出振幅至超声波变幅器；由所述超声波变幅器将所述超声波换能器的输出振幅放大，并输出振幅至金刚石切割刀；所述金刚石切割刀设置于所述超声波变幅器的节点处，由所述金刚石切割刀进一步放大所述超声波变幅器的输出振幅，集中所述超声波能量垂直作用于被切割玻璃、硅晶圆或陶瓷的切割部位。