[发明专利]扫描型探针显微镜

摘要

本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。

主权项

1.一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：悬臂，其沿样品的表面进行相对位移；光照射部，其向所述悬臂照射光；光检测部，其通过接收来自所述悬臂的反射光，来输出与所述悬臂的弯曲相对应的检测信号；扫描处理部，其通过使所述悬臂分别在相互交叉的X方向以及Y方向上相对于样品的表面进行相对位移来进行扫描；正式测定处理部，其通过对每条线重复下述处理，来基于多条线的测定范围内的所述检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使所述悬臂在沿所述X方向的规定长度的线上进行扫描，一边以规定的第1间隔获取到所述检测信号后，使所述悬臂以规定的第2间隔在所述Y方向上进行扫描；以及预备测定处理部，其在所述正式测定前，以比所述第1间隔宽的间隔来获取所述检测信号，或者使所述悬臂以比所述第2间隔宽的间隔在所述Y方向上进行扫描，由此来执行用于获取比所述正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。