[发明专利]扫描型探针显微镜及悬臂移动方法有效
| 申请号： | 201910303059.0 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110389238B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 饭田荣治 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国京都府京*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描型探针显微镜及悬臂移动方法，能够减少在进行液体中观察中的接近动作时产生的工夫。在接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到液面的情况下，光检测部移动处理部(13)使光检测部移动至在悬臂位于液体中的状态下来自悬臂的反射光入射的位置。在由光检测部移动处理部(13)进行光检测部(5)的移动后继续执行的接近动作中、来自悬臂的反射光入射至光检测部中的情况下，光轴调整处理部(11)对入射至光检测部(5)中的反射光的光轴进行调整。在由光轴调整处理部(11)进行光轴的调整后继续执行的接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，接近处理部(12)使接近动作停止。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 悬臂 移动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：悬臂，其沿固体样品的表面移动；光照射部，其向所述悬臂照射光；光检测部，其被设置为能够移动，并且接收来自所述悬臂的反射光；接近处理部，其通过使所述悬臂向配置于液体中的固体样品接近来进行接近动作；光检测部移动处理部，在所述接近动作中、基于来自所述光检测部的检测信号检测到液面的情况下，所述光检测部移动处理部使所述光检测部移动至在所述悬臂位于液体中的状态下来自所述悬臂的反射光入射的位置；以及光轴调整处理部，在由所述光检测部移动处理部进行所述光检测部的移动后继续执行的所述接近动作中、来自所述悬臂的反射光入射至所述光检测部中的情况下，所述光轴调整处理部对入射至该光检测部中的反射光的光轴进行调整，在由所述光轴调整处理部进行光轴的调整后继续执行的所述接近动作中、基于来自所述光检测部的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，所述接近处理部使所述接近动作停止。
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