[发明专利]扫描型探针显微镜及悬臂移动方法

说明书

本发明提供一种扫描型探针显微镜及悬臂移动方法，能够减少在进行液体中观察中的接近动作时产生的工夫。在接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到液面的情况下，光检测部移动处理部(13)使光检测部移动至在悬臂位于液体中的状态下来自悬臂的反射光入射的位置。在由光检测部移动处理部(13)进行光检测部(5)的移动后继续执行的接近动作中、来自悬臂的反射光入射至光检测部中的情况下，光轴调整处理部(11)对入射至光检测部(5)中的反射光的光轴进行调整。在由光轴调整处理部(11)进行光轴的调整后继续执行的接近动作中、基于来自光检测部(5)的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，接近处理部(12)使接近动作停止。

技术领域

本发明涉及具备沿固体样品的表面移动的悬臂的扫描型探针显微镜。

背景技术

例如在光杠杆方式的扫描型探针显微镜中，通过使悬臂的探针沿样品的表面移动，并且检测出悬臂的弯曲，从而能够获得样品的表面的凹凸图像(例如，参照下述专利文献1)。这种扫描型探针显微镜具备向悬臂照射光的光照射部、和接收来自悬臂的反射光的光检测部。

在进行样品表面的观察时，首先，进行将悬臂接近样品的动作(接近动作)。具体来说，通过使悬臂向垂直下方移动，从而使探针相对于样品表面慢慢接近。接下来，在来自光检测部的检测信号变为预先设定的目标值的情况下，判断为探针接触到了样品表面，并使悬臂的移动停止。由此，接近动作完成，其后通过使悬臂在水平方向上扫描来进行样品表面的观察。

有时进行液体中观察来作为进行样品表面的观察的方法之一。在液体中观察中，在将样品沉入液体中的状态下，使悬臂下降至液体中，并使探针接触样品表面。接下来，在液体中通过使悬臂在水平方向上扫描，从而能够进行液体中的样品表面的观察。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2014－211372号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

在液体中观察时进行接近动作的情况下，在使悬臂相对于样品表面慢慢接近的过程中，探针会接触液面。此时，由于受到来自液面的阻力，悬臂会弯曲，并且来自光检测部的检测信号达到预先设定的目标值，从而接近动作会在液面上停止。在该情况下，操作人员需要在手动调整上述目标值的基础上使接近动作继续执行，因此存在费事的问题。

本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于，提供一种能够减少在进行液体中观察的情况下在接近动作时产生的工夫的扫描型探针显微镜及悬臂移动方法。

[用于解决问题的技术手段]

(1)本发明的扫描型探针显微镜具备悬臂、光照射部、光检测部、接近处理部、光检测部移动处理部、以及光轴调整处理部。所述悬臂沿固体样品的表面移动。所述光照射部向所述悬臂照射光。所述光检测部被设置为能够移动，并且接收来自所述悬臂的反射光。所述接近处理部通过使所述悬臂向配置于液体中的固体样品接近来进行接近动作。在所述接近动作中、基于来自所述光检测部的检测信号检测到液面的情况下，所述光检测部移动处理部使所述光检测部移动至在所述悬臂位于液体中的状态下来自所述悬臂的反射光入射的位置。在由所述光检测部移动处理部进行所述光检测部的移动后继续执行的所述接近动作中、来自所述悬臂的反射光入射至所述光检测部中的情况下，所述光轴调整处理部对入射至该光检测部中的反射光的光轴进行调整。在由所述光轴调整处理部进行光轴的调整后继续执行的所述接近动作中、基于来自所述光检测部的检测信号检测到固体样品的表面的情况下，所述接近处理部使所述接近动作停止。