[发明专利]一种光谱共焦轴向距离检测方法、装置及设备

摘要

本发明公开了一种光谱共焦轴向距离检测方法、装置及设备，所述方法包括以下步骤：驱动光谱共焦测头轴向扫描待测物体表面，比对各扫描位置的反射光谱信号，获取测量范围内每个光谱仪像素能够产生的最大光强，归为一组作为参比光强信号；获得噪声光谱信号；根据所述参比光强信号、所述噪声光谱信号和所述反射光谱信号，计算所述各扫描位置的色散反射率光谱。本发明通过获取测量范围内每个光谱仪像素能够产生的最大光强作为参比光强信号，并通过噪声光谱信号来计算色散反射率，进而对色散反射率寻峰，作为聚焦像素序号值，弥补了光源造成的不同波长光线的强度、透过率等差异，可以有效提高聚焦像素序号值的求解精度。

主权项

1.一种光谱共焦轴向距离检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，驱动光谱共焦测头轴向扫描待测物体表面，比对各扫描位置的反射光谱信号，获取测量范围内每个光谱仪像素能够产生的最大光强，归为一组作为参比光强信号；步骤2，获得噪声光谱信号；步骤3，根据所述参比光强信号、所述噪声光谱信号和所述反射光谱信号，计算所述各扫描位置的色散反射率光谱；步骤4，获取所述各扫描位置的色散反射率光谱的波峰对应的光谱仪像素序号值，建立所述待测物体表面相对所述光谱共焦测头的轴向距离与像素序号值的查找关系曲线；步骤5，实时获得所述待测物体表面的色散反射率光谱，求所述色散反射率光谱波峰对应的像素序号值，将所述像素序号值代入所述查找关系曲线，获得所述待测物体表面相对测头的轴向距离。