[发明专利]还原尾气中无定形硅的处理工艺在审
| 申请号： | 201910294528.7 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN109835904A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 汪云清;袁中华;罗轩 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种还原尾气中无定形硅的处理工艺，包括：吸附：喷淋氯硅烷液体，吸附还原尾气中的氯硅烷气体和硅粉，得到第一固液混合物和不凝气；过滤：第一固液混合物经物理分离后得到氯硅烷液体和第二固液混合物；分离：加热第二固液混合物得到氯硅烷气体和硅粉；冷凝：氯硅烷气体冷凝得到氯硅烷混合液，本申请提供的还原尾气中无定形硅的处理工艺，可以有效分离还原尾气，得到纯净的无定形硅粉和氯硅烷，具有回收利用率高，排放少，能耗小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 还原尾气 固液混合物 无定形硅 氯硅烷气体 处理工艺 氯硅烷液体 冷凝 硅粉 吸附 氯硅烷混合液 物理分离 有效分离 不凝气 氯硅烷 喷淋 加热 过滤 能耗 回收 排放 申请 | ||
【主权项】：
1.一种还原尾气中无定形硅的处理工艺，其特征在于，包括：吸附：喷淋氯硅烷洗涤液，吸附还原尾气中的氯硅烷气体和硅粉，得到第一固液混合物和第一气体混合物；过滤：第一固液混合物经过滤分离得到纯净的液相氯硅烷和第二固液混合物；分离：加热第二固液混合物得到气相氯硅烷和硅粉；冷凝：气相氯硅烷冷凝得到氯硅烷洗涤液。
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