[发明专利]一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法

摘要

本发明公开了一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法，属于压电驱动技术领域。解决了目前三自由度直线定位平台结构复杂、精度不足、行程过小以及激励方法单一的技术问题。所述压电定位平台由运动平台、驱动单元、侧向压板、竖向导轨以及基座组成，其中驱动单元为主要驱动元件，用以产生弯曲变形和伸缩变形，进而通过驱动足驱动运动平台沿空间中三个正交方向的直线运动。基于本发明中的激励方法，所述压电定位平台可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的压电定位平台结构紧凑，激励方法简单易行，便于应用在需要精密定位操作的技术领域。

主权项

1.一种超精密三自由度直线压电定位平台，其特征在于，所述定位平台包括运动平台(1)、驱动单元(2)、侧向压板(3)、竖向导轨(4)以及基座(5)；所述驱动单元(2)包括上驱动足(2‑1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、中间夹板(2‑3)、纵振压电陶瓷(2‑4)、单向弯振压电陶瓷(2‑5)以及下驱动足(2‑6)；所述上驱动足(2‑1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、中间夹板(2‑3)、纵振压电陶瓷(2‑4)、单向弯振压电陶瓷(2‑5)以及下驱动足(2‑6)沿所述驱动单元(2)的轴线方向依次布置且固定连接，所述侧向压板(3)与基座(5)固定连接，所述竖向导轨(4)与基座(5)固定连接，所述竖向导轨(4)沿竖直方向布置且与驱动单元(2)的轴线方向平行，所述竖向导轨(4)与所述中间夹板(2‑3)滑动连接以引导中间夹板(2‑3)沿竖直方向的直线运动，所述基座(5)与所述运动平台(1)滑动连接以引导运动平台(1)沿与竖直方向正交的水平方向和纵深方向的直线运动；所述运动平台(1)的下表面压紧在上驱动足(2‑1)的上表面，所述下驱动足(2‑6)的侧面压紧在侧向压板(3)的侧面；所述基座(5)保持固定，所述驱动单元(2)沿竖直方向做直线运动，所述运动平台(1)沿竖直方向、水平方向、纵深方向做三自由度直线运动。