[发明专利]高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201910278966.4 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110004415B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张明明;李勇峰;赵红远;吴婷婷;张亚奇;谢文龙;郭昊;苏建修 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 453003 河南省新乡市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬质防护涂层领域，具体为一种高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层及其制备方法。采用通用的弧光离子镀设备进行沉积，选用Ti靶和TiAl靶作为阴极靶材，该Ti/TiAlN多层涂层沉积于硬质合金基体表面；所述Ti/TiAlN多层涂层为层状结构，包括TiN过渡层、多个TiAlN子层和Ti子层，沉积于基体的第一层为TiN过渡层，第二层为TiAlN子层，之后为Ti子层，TiAlN子层和Ti子层相互交替叠加沉积，最外层为TiAlN子层。本发明Ti/TiAlN多层涂层具备高厚度、良好的膜基结合强度、高硬度、高韧性等特点，并具备良好的抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 韧性 硬度 ti tialn 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高韧性和高硬度的厚Ti/TiAlN多层涂层，其特征在于，采用通用的弧光离子镀设备进行沉积，选用Ti靶和TiAl靶作为阴极靶材，该Ti/TiAlN多层涂层沉积于硬质合金基体表面；所述Ti/TiAlN多层涂层为层状结构，包括TiN过渡层、多个TiAlN子层和Ti子层，沉积于基体的第一层为TiN过渡层，第二层为TiAlN子层，之后为Ti子层，TiAlN子层和Ti子层相互交替叠加沉积，最外层为TiAlN子层。
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