[发明专利]一种用于准分子激光器的气体采集监测方法和系统在审
| 申请号： | 201910230809.6 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110006492A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 张琴;韩晓泉;冯泽斌;张华;廖密;王香 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/00 | 分类号： | G01F1/00;G01F15/06 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于准分子激光器的气体采集监测方法和系统，通过在各气路设置气体流量传感器和报警器，精确采集各气路的气体流量，并通过计算分析得到各路气体流量值，与设置的各路气体流量限制范围相比，判断各路气体流量是否处于异常状态，并在判断结果为是时发出报警。本发明通过对各路气体流量的精确采集和超范围报警功能保证了各模块内气体流量的稳定性，并有效保护光学元器件和避免直射空气产生的臭氧对光束能量的吸收减弱，能满足激光器正确运行的需求，提高了激光器各光学器件的工作稳定性和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 气体流量 准分子激光器 气体采集 激光器 气路 气体流量传感器 采集 超范围报警 工作稳定性 光学元器件 功能保证 光束能量 光学器件 计算分析 判断结果 使用寿命 异常状态 报警器 直射 监测 臭氧 报警 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种用于准分子激光器的气体采集监测方法，其特征在于，所述采集监测方法包括以下步骤：S1，获取各路气体流量传感器的模拟信号；S2，将步骤S1中的所述模拟信号转换成数字信号；S3，根据步骤S2中的所述数字信号计算各路气体流量值；S4，根据步骤S3中的各路所述气体流量值和各路气体流量的预设阈值，判断各路气体流量是否处于异常状态，并在判断结果为是时报警。
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