[发明专利]一种黑硅生产用涂层喷射装置在审
申请号: | 201910220006.2 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN111739977A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 何其金;张靖;何飞;沈鸿烈 | 申请(专利权)人: | 江苏德润光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L21/67;H01L21/677;B05B9/04;B05B13/02 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 艾秀丽 |
地址: | 225600 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及黑硅生产技术领域,且公开了一种黑硅生产用涂层喷射装置,包括两个支架板,两个所述支架板的底部均固定安装有两个稳固垫,两个所述支架板形成的夹缝处固定安装有稳固支架,两个所述支架板的顶部均固定安装有两个电动推杆,四个所述电动推杆的顶部均活动安装有与电动推杆相对应的电动延伸杆。该黑硅生产用涂层喷射装置,通过设置了运输滚轴,且运输滚轴的外表面套接有传送带,达到了通过动力电机的带动下,可带动传送带运行,带动待加工硅板进行均速移动的效果,通过设置了电动推杆,能够使顶座的高度便于根据加工需要进行调节,通过设置了喷射柱头,达到了喷射柱头可对传送带上的工件进行均匀喷涂的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 涂层 喷射 装置 | ||
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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