[发明专利]一种硅微鸟盆式谐振陀螺仪及其制备方法在审
| 申请号： | 201910187974.8 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111693037A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王银鹏;白泽森;赵前程;杨振川;闫桂珍 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅微鸟盆式谐振陀螺仪及其制备方法，陀螺仪包括顶层打孔玻璃引线盖板，中间层单晶硅结构层和底层玻璃衬底。单晶硅结构层包括中心支撑柱、鸟盆式谐振子，十六个固定的电容式电极；打孔玻璃盖板包括一个中心引线电极和十六个按圆周均匀分布的引线电极，用于引出结构层信号。玻璃衬底淀积有吸气剂，用于真空封装。制备过程中，先由深硅刻蚀确定中心支撑柱位置，然后各向同性腐蚀得到硅微鸟盆式模子，接着在模子上沉积氧化硅牺牲层和多晶硅结构层，释放牺牲层后得到硅微鸟盆式谐振子。引线盖板和玻璃衬底通过阳极键合与单晶硅基底封装在一起。本发明通过传统半导体的工艺完成了硅微鸟盆式谐振陀螺仪的制造，具有批量化、低成本等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅微鸟盆式 谐振 陀螺仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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