[发明专利]用于检测激光光斑温度场分布的温度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910161572.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109781288B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 田边;汪存峰;张仲恺;蒋庄德;史鹏;刘延 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检测激光光斑温度场分布的温度传感器及其制备方法，包括绝缘高温层基底，所述绝缘高温层基底表面分为敏感区域及非敏感区域，所述敏感区域上设置有自下到上依次分布的正极热电偶薄膜阵列及负极热电偶薄膜阵列，其中，正极热电偶薄膜阵列中的一块正极热电偶薄膜对应负极热电偶薄膜阵列中的一块负极热电偶薄膜，且各负极热电偶薄膜覆盖于对应正极热电偶薄膜上，正极热电偶薄膜的上表面以及敏感区域上没有覆盖正极热电偶薄膜阵列的区域均覆盖有保护层；各负极热电偶薄膜及各正极热电偶薄膜均连接有冷端，其中，各冷端均位于非敏感区域内，该温度传感器具有多测温点及体积小的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 激光 光斑 温度场 分布 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测激光光斑温度场分布的温度传感器，其特征在于，包括绝缘高温层基底(1)，所述绝缘高温层基底(1)表面分为敏感区域(5)及非敏感区域，所述敏感区域(5)上设置有自下到上依次分布的正极热电偶薄膜阵列(2)及负极热电偶薄膜阵列(3)，其中，正极热电偶薄膜阵列(2)中的一块正极热电偶薄膜对应负极热电偶薄膜阵列(3)中的一块负极热电偶薄膜，且各负极热电偶薄膜覆盖于对应正极热电偶薄膜上，正极热电偶薄膜的上表面以及敏感区域(5)上没有覆盖正极热电偶薄膜阵列(2)的区域均覆盖有保护层(6)；各负极热电偶薄膜及各正极热电偶薄膜均连接有冷端(7)，其中，各冷端(7)均位于非敏感区域内。
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